退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。

等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐對(duì)鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

一般來講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長(zhǎng)得多，這是因?yàn)樵诠桡f棒冷卻過程中損壞大。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作，應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅鉬棒運(yùn)行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時(shí)，硅鉬棒元件的壽命長(zhǎng)，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時(shí)輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會(huì)隨著溫度變高，表面的氧化速度會(huì)越快，壽命會(huì)越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負(fù)荷集中，造成損壞的情況

依據(jù)燃?xì)馀c空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐長(zhǎng)焰燃燒減去燃?xì)夂涂諝庠谌紵鲀?nèi)不混合，噴出后靠擴(kuò)散作用進(jìn)行邊混合邊燃燒，火焰長(zhǎng)。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐短焰燃燒減去燃?xì)庠谌紵鲀?nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進(jìn)一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃?xì)馀c空氣在燃燒器內(nèi)或進(jìn)燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

箱式退火爐主要用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規(guī)熱處理之用的專用設(shè)備。北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式退火爐特點(diǎn)：電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用，節(jié)能達(dá)30%，爐溫均勻，智能數(shù)顯表PID自動(dòng)控制爐溫，精密高；電爐裝御料方便，操作條件好；爐門與爐體的密封為自動(dòng)密封，無需人工密封；北京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故。