球化退火只應(yīng)用于鋼的一種退火方法。上海半導(dǎo)體外延生長爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。上海半導(dǎo)體外延生長爐目的在于使珠光體內(nèi)的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變?yōu)榍蛄睿鶆蚍植加阼F素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。上海半導(dǎo)體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。上海半導(dǎo)體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會出現(xiàn)報警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。上海半導(dǎo)體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發(fā)生動作。上海半導(dǎo)體外延生長爐出現(xiàn)上述報警后，首先查看報警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。上海半導(dǎo)體外延生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，上海半導(dǎo)體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質(zhì)量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。上海半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，上海半導(dǎo)體外延生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝上海半導(dǎo)體外延生長爐將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。上海半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。?