退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；福建半導(dǎo)體生長爐消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。福建半導(dǎo)體生長爐準(zhǔn)確的說，退火是一種對材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設(shè)備是退火爐。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。福建半導(dǎo)體生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。福建半導(dǎo)體生長爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。福建半導(dǎo)體生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，對環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。福建半導(dǎo)體生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

當(dāng)塑料品存在薄和厚位置的連接部位，厚的部位降溫慢、薄的部位降溫快些，則連接處發(fā)生不均勻收縮，結(jié)果就導(dǎo)致應(yīng)力集中現(xiàn)象。福建半導(dǎo)體生長爐在有金屬鑲件的四周，這種現(xiàn)象更明顯。福建半導(dǎo)體生長爐剛出模的時(shí)候表面上無異常，過段時(shí)間，也許是幾天，也許是半年或更長，在外因作用，下溫度，壓力，極性溶液等，應(yīng)力集中部位會(huì)產(chǎn)生裂紋，甚至開裂或者變形。為了消除或減少成型制品中的內(nèi)應(yīng)力、避免制品在貯存或應(yīng)用時(shí)產(chǎn)生較大的變形或開裂，對成型后的一些制品要進(jìn)行退火處理。