鋼的重結(jié)晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十?dāng)z氏度，保持適當(dāng)時(shí)間，然后緩慢冷卻下來。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐通過加熱過程中發(fā)生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉(zhuǎn)變?yōu)閵W氏體以及冷卻過程中發(fā)生的與此相反的第二回相變重結(jié)晶，形成晶粒較細(xì)、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發(fā)生完全的重結(jié)晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發(fā)生部分的重結(jié)晶者，稱為不完全退火。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會(huì)引起晶粒長(zhǎng)大、氧化或過燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。在熱處理過程中，假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的，爐子熱制度處于安穩(wěn)狀態(tài)，沒有周期性的爐墻蓄熱丟失，還因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為因?yàn)闋t膛內(nèi)部有一個(gè)預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為入爐的冷工件所吸收，下降了離爐煙氣的溫度。以完成爐溫、爐氣氛或爐壓的主動(dòng)操控。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達(dá)到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細(xì)化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐完全退火重結(jié)晶退火完全退火應(yīng)用于平衡加熱和冷卻時(shí)有固態(tài)相變(重結(jié)晶)發(fā)生的合金。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區(qū)間以上或以內(nèi)的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過程中各發(fā)生一次相變重結(jié)晶，故稱為重結(jié)晶退火，常被簡(jiǎn)稱為退火。