調(diào)節(jié)閥可參考其關聯(lián)溫度判斷設備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場閥蓋，在確認閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。常州半導體外延生長爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。常州半導體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應力及鑄件內(nèi)從在的殘余應力而進行的退火。常州半導體外延生長爐去應力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關。常州半導體外延生長爐為了防止去應力退火后冷卻時再發(fā)生殘余應力，應緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒調(diào)整組織，消除組織缺陷。常州半導體外延生長爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或為以后熱處理做組織準備。常州半導體外延生長爐在生產(chǎn)中，退火工藝應用很廣泛。根據(jù)被加工金屬件對退火的不同需求，退火的工藝規(guī)范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應力退火等。

操作者應遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設備接地是否完好；常州半導體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領導報告阻止發(fā)生觸電事故常州半導體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異?，F(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應越過溫度，否則會縮短設備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。