降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒調(diào)整組織，消除組織缺陷。重慶半導(dǎo)體外延生長爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或為以后熱處理做組織準(zhǔn)備。重慶半導(dǎo)體外延生長爐在生產(chǎn)中，退火工藝應(yīng)用很廣泛。根據(jù)被加工金屬件對退火的不同需求，退火的工藝規(guī)范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應(yīng)力退火等。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進行的退火。重慶半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時間與退火溫度有關(guān)。重慶半導(dǎo)體外延生長爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。重慶半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。重慶半導(dǎo)體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。

操作者應(yīng)遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；重慶半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報告阻止發(fā)生觸電事故重慶半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

一般來講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長得多，這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。重慶半導(dǎo)體外延生長爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作，應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)重慶半導(dǎo)體外延生長爐硅鉬棒運行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高，表面的氧化速度會越快，壽命會越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負(fù)荷集中，造成損壞的情況