爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實現(xiàn)自動化模糊控制，可靠性高且運行穩(wěn)定。福建半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優(yōu)點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。福建半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。福建半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。福建半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復合爐襯保溫。福建半導體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。福建半導體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。福建半導體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏燒制需要用煤，對環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。福建半導體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫燒結(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

依據(jù)燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。福建半導體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內(nèi)不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。福建半導體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內(nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內(nèi)或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。