箱式回火爐外殼由國標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。福建半導(dǎo)體生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。福建半導(dǎo)體生長爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。

該爐是供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個(gè)可移動(dòng)的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。福建半導(dǎo)體生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。福建半導(dǎo)體生長爐爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。福建半導(dǎo)體生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。福建半導(dǎo)體生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時(shí)間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強(qiáng)化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。福建半導(dǎo)體生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，福建半導(dǎo)體生長爐保溫一到三個(gè)小時(shí)空冷，對(duì)含質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于百分之零點(diǎn)二的普通碳鋼，在冷變形時(shí)臨界變形速度若達(dá)百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。福建半導(dǎo)體生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹海瑢?duì)環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。福建半導(dǎo)體生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。