臺(tái)車(chē)式退火爐是通過(guò)熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu),從而改善鋼的性能。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能,延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷,細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力,使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車(chē)式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織,細(xì)化晶粒,調(diào)整硬度,并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化,改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。
為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行,鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等,熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等,退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力,應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷,大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?
爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制,可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐全爐密封效果好,與同類(lèi)爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類(lèi)主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng),將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。
操作管理混亂,經(jīng)驗(yàn)不足。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁,且針對(duì)性不強(qiáng),尤其是中心焦炭沒(méi)有保證;二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大,鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下,硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生;武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為;風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一,有的班開(kāi)得高,有的班開(kāi)得低,頂壓不統(tǒng)一,壓差波動(dòng)大,料線(xiàn)不統(tǒng)一,手動(dòng)控制比較多,爐料落點(diǎn)難以規(guī)范,無(wú)規(guī)律性;四是退火爐工藝管理粗放,考核不到位,高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠,制度執(zhí)行不力。