通過(guò)風(fēng)機(jī)的循環(huán)使退火爐的爐腔內(nèi)溫度分布均勻，退火爐的兩個(gè)爐腔室是可以獨(dú)自運(yùn)行的，提高了退火效率，每個(gè)爐腔內(nèi)都有兩臺(tái)風(fēng)機(jī)，卻沒(méi)有空氣過(guò)濾裝置，跟實(shí)際情況有出入。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐通過(guò)風(fēng)機(jī)循環(huán)使?fàn)t內(nèi)溫度分布均勻，通過(guò)熱處理重組薄膜材料微觀結(jié)構(gòu)，提高穩(wěn)定性及轉(zhuǎn)化效率。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐將鑄件加熱到九百五十?dāng)z氏度左右 ，保溫一定時(shí)間后適當(dāng)冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內(nèi)應(yīng)力。對(duì)于鋼鐵制品加熱后開(kāi)始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內(nèi)應(yīng)力。

原燃料質(zhì)量波動(dòng)一是大量使用國(guó)內(nèi)低品位劣質(zhì)礦，燒結(jié)礦品位只有百分之四十七，含量有時(shí)高達(dá)百分之八十五以上，堿金屬含量特高，一般高出標(biāo)準(zhǔn)五倍以上；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐二是退火爐爐料結(jié)構(gòu)變化大，廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐二零一二年年元月份球團(tuán)車間檢修，大量配加低品質(zhì)馬來(lái)西亞塊礦；三是燒結(jié)礦質(zhì)量下降，強(qiáng)度、低溫還原粉化、還原性都變差，同時(shí)由于燒結(jié)蒸氣不足，混和料溫低，燒結(jié)機(jī)漏風(fēng)嚴(yán)重，造成燒結(jié)礦產(chǎn)量、質(zhì)量下降。

調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開(kāi)現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若旋轉(zhuǎn)感覺(jué)很卡，則為機(jī)械故障，若感覺(jué)旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過(guò)程中無(wú)組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過(guò)切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐減少零件在切削加工和使用過(guò)程中的形變和裂紋傾向。

依據(jù)燃?xì)馀c空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐長(zhǎng)焰燃燒減去燃?xì)夂涂諝庠谌紵鲀?nèi)不混合，噴出后靠擴(kuò)散作用進(jìn)行邊混合邊燃燒，火焰長(zhǎng)。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐短焰燃燒減去燃?xì)庠谌紵鲀?nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進(jìn)一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無(wú)焰燃燒－燃?xì)馀c空氣在燃燒器內(nèi)或進(jìn)燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無(wú)火焰。