該爐是供金屬機件、環(huán)件等在額定的溫度下進行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。湖南半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。湖南半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。

均勻化退火又稱擴散退火。湖南半導(dǎo)體外延生長爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。湖南半導(dǎo)體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

一般來講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長得多，這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。湖南半導(dǎo)體外延生長爐如果當電熱裝置停止工作，應(yīng)當保持裝置處于熱狀態(tài)湖南半導(dǎo)體外延生長爐硅鉬棒運行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高，表面的氧化速度會越快，壽命會越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負荷集中，造成損壞的情況

退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；湖南半導(dǎo)體外延生長爐消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。湖南半導(dǎo)體外延生長爐準確的說，退火是一種對材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設(shè)備是退火爐。