若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。山東半導(dǎo)體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動作部分。檢查動作部分時(shí)，先于現(xiàn)場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。山東半導(dǎo)體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動作，則為機(jī)械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

臺車式退火爐是國家標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電百分之30。生產(chǎn)采用復(fù)合式高鋁瓷釘組，臺車防撞擊密封磚，自動密封臺車和爐門，一體化連軌，不需基礎(chǔ)安裝，放在水平地面即可使用。山東半導(dǎo)體外延生長爐主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼等淬火、退火、時(shí)效以及各種機(jī)械零件熱處理之用。產(chǎn)品特點(diǎn)：無噪聲，無環(huán)境污染。蓄熱性小，熱量流失少?？販鼐雀?，爐溫均勻性強(qiáng)。山東半導(dǎo)體外延生長爐自動化程度高，操作簡單?？刹捎肞ID編程設(shè)定，全自動運(yùn)行。密封性好，壽命長，安全可靠。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門。隨著社會生產(chǎn)力的發(fā)展，其在各行業(yè)中的應(yīng)用越來越廣泛。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時(shí)也進(jìn)行球化退火。山東半導(dǎo)體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進(jìn)行選擇。在稍低于Ar1溫度長時(shí)間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。山東半導(dǎo)體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時(shí)間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進(jìn)行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時(shí)間保溫進(jìn)行球化退火。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。山東半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；山東半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。