依據(jù)燃?xì)馀c空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。臺州半導(dǎo)體外延生長爐長焰燃燒減去燃?xì)夂涂諝庠谌紵鲀?nèi)不混合，噴出后靠擴(kuò)散作用進(jìn)行邊混合邊燃燒，火焰長。臺州半導(dǎo)體外延生長爐短焰燃燒減去燃?xì)庠谌紵鲀?nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進(jìn)一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃?xì)馀c空氣在燃燒器內(nèi)或進(jìn)燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動力：爐門采用電動升降，電動葫蘆裝在爐門龍門架上方。臺州半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠，維修方便。臺州半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺車爐中使用效果很好。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。臺州半導(dǎo)體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。臺州半導(dǎo)體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過退火爐來消除內(nèi)應(yīng)力。

風(fēng)溫水平降低、噴煤效果差5號高爐風(fēng)溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號高爐擴(kuò)容改造造成系流煤氣嚴(yán)重不足，甚至熱風(fēng)爐燒爐都不能保證，熱風(fēng)溫度下降100℃以上，同時(shí)5號高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。臺州半導(dǎo)體外延生長爐無計(jì)劃的頻繁休風(fēng)2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風(fēng)口全部灌死，休風(fēng)10小時(shí)。2012年元月19日，4號、10號風(fēng)口二套燒壞，爐內(nèi)大量進(jìn)水，休風(fēng)6小時(shí)處理。臺州半導(dǎo)體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風(fēng)12小時(shí)處理，頻繁的無計(jì)劃休風(fēng)，加劇了爐況的惡化。