調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機(jī)械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，?duì)環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

臺(tái)車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能，延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

球化退火只應(yīng)用于鋼的一種退火方法。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。安徽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的在于使珠光體內(nèi)的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變?yōu)榍蛄?，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對(duì)工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。