采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。武漢半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態(tài)。武漢半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節(jié)燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

例如鈦合金于加熱和冷卻時發(fā)生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。武漢半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變?yōu)棣孪嗟募毿【Я＃?a href="/tag/%E6%AD%A6%E6%B1%89" target="_blank">武漢半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細小晶粒。

等溫式退火是應用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。武漢半導體外延生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內，等溫保持直到奧氏體全部轉變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；武漢半導體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，武漢半導體外延生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。武漢半導體外延生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。