加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長(zhǎng)二到三倍，并且杜絕其在運(yùn)行中的斷路現(xiàn)象。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法，利用可控硅三相過(guò)零觸法能自動(dòng)智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達(dá)到正負(fù)三攝氏度，有效確保工件不過(guò)燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達(dá)到百分之一百。

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制，可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐全爐密封效果好，與同類(lèi)爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類(lèi)主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

原燃料質(zhì)量波動(dòng)一是大量使用國(guó)內(nèi)低品位劣質(zhì)礦，燒結(jié)礦品位只有百分之四十七，含量有時(shí)高達(dá)百分之八十五以上，堿金屬含量特高，一般高出標(biāo)準(zhǔn)五倍以上；大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐二是退火爐爐料結(jié)構(gòu)變化大，大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐二零一二年年元月份球團(tuán)車(chē)間檢修，大量配加低品質(zhì)馬來(lái)西亞塊礦；三是燒結(jié)礦質(zhì)量下降，強(qiáng)度、低溫還原粉化、還原性都變差，同時(shí)由于燒結(jié)蒸氣不足，混和料溫低，燒結(jié)機(jī)漏風(fēng)嚴(yán)重，造成燒結(jié)礦產(chǎn)量、質(zhì)量下降。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹海瑢?duì)環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會(huì)產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過(guò)成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。