例如鈦合金于加熱和冷卻時發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；蘇州半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

連續(xù)光亮退火爐用途：用于不同規(guī)格銅直管棒、鋼管、鋁管或盤園在控制氣氛下連續(xù)光亮退火特點：工件連續(xù)通過預(yù)熱、加熱、保溫、緩冷、冷卻，不受長度限制。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐傳動采用托輥式同步傳動，變頻調(diào)速，平穩(wěn)可靠。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐通保護(hù)氣氛和強(qiáng)力的熱氣氛循環(huán)，溫度均勻，內(nèi)外表面十分光亮。冷卻區(qū)設(shè)計獨特，保證工件均勻冷卻。處理的產(chǎn)品內(nèi)外表面光亮，產(chǎn)品質(zhì)量高，生產(chǎn)率高。加熱方式：電加熱或燃?xì)饧訜?/p>

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實現(xiàn)自動化模糊控制，可靠性高且運行穩(wěn)定。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

將鑰匙開關(guān)打開，控制臺電源接通，電源指示燈和液壓系統(tǒng)指示燈亮。將開關(guān)撥到手動位置，手動系統(tǒng)電路接通。在不啟動油泵的情況下，只能提升和關(guān)閉前、后爐門，或?qū)t門停留在任意位置上。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實現(xiàn)。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐在啟動油泵的情況下，不僅可以完成不啟動油泵情況下的功能外，還可以使推。拉桿工作，并可使推。拉桿停留在任意位置上，爐門升降、推，拉桿進(jìn)、退均不分前后次序，通過按下前，后爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實現(xiàn)。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺上的鑰匙開關(guān)均為總停，一旦發(fā)現(xiàn)進(jìn)、出料情況異常，應(yīng)立即按下此按鈕或切斷控制電源，以避免或減少事故的發(fā)生。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現(xiàn)場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。蘇州半導(dǎo)體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機(jī)械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。