依據(jù)燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。江蘇半導(dǎo)體生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內(nèi)不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。江蘇半導(dǎo)體生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內(nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內(nèi)或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。江蘇半導(dǎo)體生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態(tài)。江蘇半導(dǎo)體生長爐當(dāng)需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。江蘇半導(dǎo)體生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現(xiàn)場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。江蘇半導(dǎo)體生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。江蘇半導(dǎo)體生長爐硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。江蘇半導(dǎo)體生長爐罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。