箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。臺州半導(dǎo)體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。臺州半導(dǎo)體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。臺州半導(dǎo)體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，對環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。臺州半導(dǎo)體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

均勻化退火又稱擴散退火。臺州半導(dǎo)體外延生長爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。臺州半導(dǎo)體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散，來減輕化學(xué)成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

在鑄造加熱爐內(nèi)，進步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴峻影響工件質(zhì)量。在熱處理過程中，假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然冷卻，就能進步鋼的硬度和強度；臺州半導(dǎo)體外延生長爐假如加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進步。臺州半導(dǎo)體外延生長爐金屬或物料加熱時吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因為連續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的，爐子熱制度處于安穩(wěn)狀態(tài)，沒有周期性的爐墻蓄熱丟失，還因為爐膛內(nèi)部有一個預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為因為爐膛內(nèi)部有一個預(yù)熱爐料的區(qū)段，煙氣有些余熱為入爐的冷工件所吸收，下降了離爐煙氣的溫度。以完成爐溫、爐氣氛或爐壓的主動操控。

操作者應(yīng)遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；臺州半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報告阻止發(fā)生觸電事故臺州半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。