將工件完全奧氏體化后緩慢冷卻，接近平衡組織的退火。完全退火奧氏體化溫度一般選為Ac3加三十?dāng)z氏度到五十?dāng)z氏度，對(duì)于某些高合金鋼，為使碳化物固溶應(yīng)適當(dāng)提高奧氏體化溫度。為了改善低碳鋼的切削性能，可采用九百攝氏度到一百攝氏度的晶粒粗化退火。為了消除亞共析鋼鍛件、鑄件、焊接件的粗大魏氏組織，需將奧氏體化溫度提高到一千一百攝氏度到一千兩百攝氏度，隨后補(bǔ)充進(jìn)行常規(guī)完全退火。?

箱式回火爐外殼由國(guó)標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式回火爐的電熱元件為長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。

依據(jù)燃?xì)馀c空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐長(zhǎng)焰燃燒減去燃?xì)夂涂諝庠谌紵鲀?nèi)不混合，噴出后靠擴(kuò)散作用進(jìn)行邊混合邊燃燒，火焰長(zhǎng)。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐短焰燃燒減去燃?xì)庠谌紵鲀?nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進(jìn)一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃?xì)馀c空氣在燃燒器內(nèi)或進(jìn)燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動(dòng)力：爐門采用電動(dòng)升降，電動(dòng)葫蘆裝在爐門龍門架上方。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動(dòng)壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠，維修方便。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車爐中使用效果很好。

調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機(jī)械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。淮安半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。