首先,硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜,從而生成抗氧化保護膜,延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中,可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。湖南半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化,其次在使用硅碳棒的過程中,硅碳棒表面的溫度越高,表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。湖南半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強度。在使用硅碳棒的時候,供電線與元件間必須有良好的接觸,避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運行過程中熱膨脹而造成電源線松弛,應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。
加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形,采用耐熱陶瓷螺釘固定,既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性,從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍,并且杜絕其在運行中的斷路現(xiàn)象。湖南半導(dǎo)體外延生長爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法,利用可控硅三相過零觸法能自動智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比,使溫度完全按照工藝編程指令要求。湖南半導(dǎo)體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度,爐膛有效空間溫度均勻性達到正負三攝氏度,有效確保工件不過燒,不熔氧,又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。
采用新型的燃燒技術(shù),如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。湖南半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù),燒嘴采用間斷燃燒的方式,一旦工作,就處于滿負荷狀態(tài)。湖南半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)需要升溫時,燒嘴燃燒時間加長,間斷時間減少;需要降溫時,燒嘴燃燒時間減少,間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制,燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定,無需在線調(diào)整,即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好,這些均有利于減少氮氧化合物的生成。
罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。湖南半導(dǎo)體外延生長爐硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。湖南半導(dǎo)體外延生長爐罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。
均勻化退火又稱擴散退火。湖南半導(dǎo)體外延生長爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度,長時間保溫,然后緩慢冷卻下來。湖南半導(dǎo)體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散,來減輕化學(xué)成分不均勻性偏析,主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高,是為了加快合金元素擴散,盡可能縮短保溫時間
一般來講,鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長得多,這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。湖南半導(dǎo)體外延生長爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作,應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)湖南半導(dǎo)體外延生長爐硅鉬棒運行的環(huán)境,硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時,硅鉬棒元件的壽命長,若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落,使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高,表面的氧化速度會越快,壽命會越短!在使用的過程中,盡量選擇并聯(lián),這樣可以避免由于電阻負荷集中,造成損壞的情況