退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時(shí)間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過(guò)程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開(kāi)裂。軟化工件以便進(jìn)行切削加工。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐細(xì)化晶粒，改善組織以提高工件的機(jī)械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制，可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐全爐密封效果好，與同類(lèi)爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類(lèi)主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃燒產(chǎn)物中沒(méi)有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒(méi)有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^(guò)剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來(lái)的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過(guò)剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過(guò)剩系數(shù)為1.05到1.15。

風(fēng)溫水平降低、噴煤效果差5號(hào)高爐風(fēng)溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號(hào)高爐擴(kuò)容改造造成系流煤氣嚴(yán)重不足，甚至熱風(fēng)爐燒爐都不能保證，熱風(fēng)溫度下降100℃以上，同時(shí)5號(hào)高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐無(wú)計(jì)劃的頻繁休風(fēng)2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風(fēng)口全部灌死，休風(fēng)10小時(shí)。2012年元月19日，4號(hào)、10號(hào)風(fēng)口二套燒壞，爐內(nèi)大量進(jìn)水，休風(fēng)6小時(shí)處理。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐2012年元月28日，南料車(chē)鋼絲繩拉斷，休風(fēng)12小時(shí)處理，頻繁的無(wú)計(jì)劃休風(fēng)，加劇了爐況的惡化。