球化退火只應用于鋼的一種退火方法。沈陽半導體外延生長爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。沈陽半導體外延生長爐目的在于使珠光體內(nèi)的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變?yōu)榍蛄?，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。

例如鈦合金于加熱和冷卻時發(fā)生同素異構轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構)，高溫為β相體心立方結(jié)構，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。沈陽半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細化晶粒，也進行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募毿【Я＃?a href="/tag/%E6%B2%88%E9%98%B3" target="_blank">沈陽半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細小晶粒。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，沈陽半導體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。沈陽半導體外延生長爐根據(jù)燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

將鑰匙開關打開，控制臺電源接通，電源指示燈和液壓系統(tǒng)指示燈亮。將開關撥到手動位置，手動系統(tǒng)電路接通。在不啟動油泵的情況下，只能提升和關閉前、后爐門，或?qū)t門停留在任意位置上。沈陽半導體外延生長爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實現(xiàn)。沈陽半導體外延生長爐在啟動油泵的情況下，不僅可以完成不啟動油泵情況下的功能外，還可以使推。拉桿工作，并可使推。拉桿停留在任意位置上，爐門升降、推，拉桿進、退均不分前后次序，通過按下前，后爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實現(xiàn)。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺上的鑰匙開關均為總停，一旦發(fā)現(xiàn)進、出料情況異常，應立即按下此按鈕或切斷控制電源，以避免或減少事故的發(fā)生。

箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復合爐襯保溫。沈陽半導體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。沈陽半導體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。