采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來(lái)開(kāi)發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長(zhǎng)，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長(zhǎng)。通過(guò)調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過(guò)壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無(wú)需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開(kāi)行程開(kāi)關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制，可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報(bào)警具體如下：V101閥位報(bào)警、V105閥位報(bào)警加熱段煤氣換向報(bào)警加熱段空氣換向報(bào)警、保溫段煤氣換向報(bào)警、保溫段空氣換向報(bào)警。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動(dòng)作部分和閥位反饋部分組成。動(dòng)作部分由電磁閥帶氣動(dòng)元件發(fā)生動(dòng)作。吉林半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐出現(xiàn)上述報(bào)警后，首先查看報(bào)警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。