對進入石英退火爐內的氣體在質量、數量、壓力較強對流球化退火爐層面均有嚴謹的規(guī)定，特別是在質量層面，對純度、氧氣量、水汽含量(漏點)、雜質成分等要求很高。

1、氧含量：為了很好地保證石英退火爐的產品質量，規(guī)定爐內氣體的氧含量越低越好，不超過lOppm(1ppm=10-3mL／L)，而維護氣體進到爐內后會遭受爐口微孔板漏水的危害，氧含量會提升。因此一般規(guī)定維護氣體在通入爐內以前氧含量≤5ppm。

2、水汽成分：根據石英退火爐爐內氣體中水蒸汽的成分是用漏點來表明的，爐氣的漏點在條型去應力退火爐后邊的制冷段不可以超出-20℃。維護氣體吹摻燒內之后與帶鋼表層的銹跡和滲透到爐內的O2反映，漏點會有些上升，因此規(guī)定維護氣體在通摻燒內以前漏點須≤-60℃。

3、純度：氣體的純凈自然是越低越好，但還需要考慮到現階段水準能夠做到的純度。針對純氮而言，現階段的方式可以做到99．999％，針對氨溶解電解水制氫而言，現階段還可以做到99.999％，殘留氨≤3ppm。那樣的純度基本上能達到熱浸鍍鋅產品質量的規(guī)定。

4、壓力：根據石英退火爐爐內須維持正壓力才可以使外面的氣體不至于入侵爐內，爐內工作壓力規(guī)定≥5mmH20(ImrnH20-9.8Pa)，一般調節(jié)在7～15mrnH20。實際上針對氣體而言，這類工作壓力是不大的，因此通摻燒內的汽體須有適度的工作壓力，無需太高，一般為0.O5MPa。

5、流量：根據石英退火爐內維護空氣的流量與爐壓有適度的關聯，即流量越高，爐壓越高。但靠提升通人維護氣體的流量來提升爐壓的作法是不合理的，那樣會引起較大的消耗，確保爐膛的封口實際效果，在這個基礎內以確保產品品質為道德底線，明確維護氣體的流量。即選用實驗的方式，尋找造成欠佳的臨界值總流量，再加之恰當的商業(yè)保險量，進而獲得合理流量。一般石英退火爐的維護氣體過氧化物量為15％上下時，每鐘頭總流量與爐內容積基本相同。提升氡氣濃度值可以合理減少總流量，相反氡氣濃度值減少時需提升流量。