臺(tái)車(chē)式退火爐是通過(guò)熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能，延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車(chē)式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后緩慢冷卻下來(lái)，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

操作管理混亂，經(jīng)驗(yàn)不足。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁，且針對(duì)性不強(qiáng)，尤其是中心焦炭沒(méi)有保證；二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大，鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開(kāi)得高，有的班開(kāi)得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動(dòng)大，料線不統(tǒng)一，手動(dòng)控制比較多，爐料落點(diǎn)難以規(guī)范，無(wú)規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長(zhǎng)了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過(guò)程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐來(lái)防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過(guò)程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長(zhǎng)度在攝氏度以?xún)?nèi)。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過(guò)多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過(guò)程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。湖南半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐使經(jīng)過(guò)鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過(guò)程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過(guò)退火爐來(lái)消除內(nèi)應(yīng)力。