目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，對環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時所放出的熱量。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動力：爐門采用電動升降，電動葫蘆裝在爐門龍門架上方。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠，維修方便。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺車爐中使用效果很好。

將鑰匙開關(guān)打開，控制臺電源接通，電源指示燈和液壓系統(tǒng)指示燈亮。將開關(guān)撥到手動位置，手動系統(tǒng)電路接通。在不啟動油泵的情況下，只能提升和關(guān)閉前、后爐門，或?qū)t門停留在任意位置上。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。黑龍江半導(dǎo)體外延生長爐在啟動油泵的情況下，不僅可以完成不啟動油泵情況下的功能外，還可以使推。拉桿工作，并可使推。拉桿停留在任意位置上，爐門升降、推，拉桿進(jìn)、退均不分前后次序，通過按下前，后爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺上的鑰匙開關(guān)均為總停，一旦發(fā)現(xiàn)進(jìn)、出料情況異常，應(yīng)立即按下此按鈕或切斷控制電源，以避免或減少事故的發(fā)生。